Leírás
Egykristályos szilícium tuskóis általában termesztik nagy hengeres tuskóként pontos adalékolási és húzási technológiákkal Czochralski CZ, Mágneses mező indukált Czochralski MCZ és Floating Zone FZ módszerekkel.A CZ-módszer a legszélesebb körben alkalmazott, legfeljebb 300 mm átmérőjű, nagy hengeres bugák szilíciumkristály növesztése, amelyet az elektronikai iparban félvezető eszközök gyártására használnak.Az MCZ-módszer a CZ-módszer egy olyan változata, amelyben egy elektromágnes által létrehozott mágneses tér, amely viszonylag alacsony oxigénkoncentrációt, alacsonyabb szennyeződés-koncentrációt, kisebb diszlokációt és egyenletes ellenállás-változást képes elérni.Az FZ módszer lehetővé teszi az 1000 Ω-cm feletti nagy fajlagos ellenállás és a nagy tisztaságú, alacsony oxigéntartalmú kristály elérését.
Szállítás
A Western Minmetals (SC) Corporation n-típusú vagy p-típusú vezetőképességű egykristályos szilíciumtömb CZ, MCZ, FZ vagy FZ NTD 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm és 200 mm átmérővel (2, 3) szállítható. , 4, 6 és 8 hüvelykes), tájolása <100>, <110>, <111>, felülete földelt műanyag zacskó belsejében, kívül kartondobozban, vagy testreszabott specifikáció szerint a tökéletes megoldás elérése érdekében.
.
Műszaki specifikáció
Egykristályos szilikon tuskó CZ, MCZ, FZ vagy FZ NTDn-típusú vagy p-típusú vezetőképességgel a Western Minmetals (SC) Corporation-nél 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm és 200 mm átmérőjű (2, 3, 4, 6 és 8 hüvelyk) méretben szállítható, tájolás <100 >, <110>, <111> földelt felülettel műanyag zacskó belsejében, kívül kartondobozban, vagy testreszabott specifikáció szerint a tökéletes megoldás elérése érdekében.
Nem. | Tételek | Szabványos specifikáció | |
1 | Méret | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9,5", 10", 12" | |
2 | Átmérő mm | 50,8-241,3, vagy igény szerint | |
3 | Növekedési módszer | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | Vezetőképesség típusa | P-típusú / bórral adalékolt, N-típusú / foszfiddal adalékolt vagy nem adalékolt | |
5 | Hossza mm | ≥180 vagy igény szerint | |
6 | Orientáció | <100>, <110>, <111> | |
7 | Ellenállás Ω-cm | Szükség szerint | |
8 | Széntartalom a/cm3 | ≤5E16 vagy szükség szerint | |
9 | Oxigéntartalom a/cm3 | ≤1E18 vagy szükség szerint | |
10 | Fémszennyeződés a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) vagy <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | Csomagolás | Belül műanyag zacskó, kívül rétegelt lemez tok vagy kartondoboz. |
Szimbólum | Si |
Atomszám | 14 |
Atomtömeg | 28.09 |
Elem kategória | Félfém |
Csoport, időszak, blokk | 14, 3, P |
Kristályos szerkezet | gyémánt |
Szín | Sötét szürke |
Olvadáspont | 1414 °C, 1687,15 K |
Forráspont | Olvadáspont: 3265 °C, 3538,15 K |
Sűrűség 300K-nál | 2,329 g/cm3 |
Belső ellenállás | 3,2E5 Ω-cm |
CAS szám | 7440-21-3 |
EK-szám | 231-130-8 |
Egykristályos szilícium tuskóTeljesen kifejlett és minősített ellenállása, szennyeződéstartalma, kristály tökéletessége, mérete és tömege, gyémánt kerekekkel földelve tökéletes átmérőjű hengerré válik, majd maratási eljárásnak vetik alá, hogy eltávolítsa a csiszolási folyamatból származó mechanikai hibákat. .Ezt követően a hengeres öntvényt meghatározott hosszúságú tömbökre vágják, és automata ostyakezelő rendszerrel bemetszéssel és elsődleges vagy másodlagos lapossággal rögzítik, hogy azonosítsák a krisztallográfiai orientációt és a vezetőképességet a későbbi szeletelési folyamat előtt.
Beszerzési tippek
Egykristályos szilícium tuskó